近来有网络媒体称,中微半导体自主研发的5纳米等离子体刻蚀机,功能优秀,将用于全球首条5纳米芯片制程生产线,并评论说我国芯片生产技能总算打破欧美封闭,第一次占据国际制高点我国弯道超车等等。中微公司的刻蚀
光刻机(baiMaskAligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫MaskAlignmentSystem。是指在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移
放眼全球233个国家和地区,可以制造光刻机的厂商寥寥可数,其中,荷兰ASML公司是全球最顶尖实力最强的光刻机制造厂商,也是目前全球唯一可以制造EUV光刻机的厂商。虽然,日本也有两家光刻机厂商:尼康、佳